霍爾壓力傳感器是基于某些半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)制成的。霍爾效應(yīng)是指當(dāng)固體導(dǎo)體放置在一個(gè)磁場內(nèi),且有電流通過時(shí),導(dǎo)體內(nèi)的電荷載子受到洛倫茲力而偏向一邊,繼而產(chǎn)生電壓(霍爾電壓)的現(xiàn)象。電壓所引致的電場力會平衡洛倫茲力。通過霍爾電壓的極性,可證實(shí)導(dǎo)體內(nèi)部的電流是由帶有負(fù)電荷的粒子(自由電子)之運(yùn)動所造成。
在導(dǎo)體上外加與電流方向垂直的磁場,會使得導(dǎo)線中的電子受到洛倫茲力而聚集,從而在電子聚集的方向上產(chǎn)生一個(gè)電場,此電場將會使后來的電子受到電力作用而平衡掉磁場造成的洛倫茲力,使得后來的電子能順利通過不會偏移,此稱為霍爾效應(yīng)。而產(chǎn)生的內(nèi)建電壓稱為霍爾電壓。

當(dāng)磁場為一交變磁場時(shí),霍爾電動勢也為同頻率的交變電動勢,建立霍爾電動勢的時(shí)間極短,故其響應(yīng)頻率高。理想霍爾元件的材料要求要有較高的電阻率及載流子遷移率,以便獲得較大的霍爾電動勢。常用霍爾元件的材料大都是半導(dǎo)體,包括N型硅(Si)、銻化銦(InSb)、砷化銦InAs)、鍺(Ge)、砷化鎵GaAs)及多層半導(dǎo)體質(zhì)結(jié)構(gòu)材料,N型硅的霍爾系數(shù)、溫度穩(wěn)定性和線性度均較好,砷化鎵溫漂小,目前應(yīng)用。
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