壓力敏感元件是壓力傳感器、壓力變送器的核心元件。壓力能以各種方法測量,但關(guān)鍵的基本原理歸結(jié)為兩類:
1.電容式
測量兩片導(dǎo)電板的電容值,在壓力作用下,導(dǎo)電板被迫擠合,使 電容值隨壓力的變化而變化。電容式壓力傳感元件采用MEMS技術(shù)由陶瓷構(gòu)成,或?qū)⒔饘偾度氚雽?dǎo)體層中。傳感元件固定于金屬/玻璃密封體或裝入充油腔中。
所有的壓阻和硅技術(shù)都存在因摻雜物質(zhì)遷移和費米能級效應(yīng)而引起漂移傾向。這些影響隨著溫度的升高而增大。
2.惠斯登電橋
配置于彈性膜片上的電橋電阻,在壓力作用下發(fā)生形變,有的被拉伸,有的則被壓縮。電阻尺寸的變化引起電阻值的變化。因此電橋產(chǎn)生差動輸出信號,其值正比于施加的壓力。 惠斯登電橋可由金屬電阻或壓阻材料構(gòu)成,壓阻電橋由于晶格摻雜效應(yīng)以及機械變形,能提供較大輸出信號。 金屬電阻可采用多種技術(shù)將電橋固定于膜片之上。諸如粘接,硅/陶瓷融合,直接分子鍵合。

金屬電阻的粘接或硅/陶瓷融合。無可避免的從原理上存在不穩(wěn)定現(xiàn)象。滄正傳感公司的壓力變送器敏感元件采用濺射工藝,在壓力介質(zhì)直接作用的17-4PH不銹鋼膜片上,以分子鍵合的方式制作出“微米”級的電阻膜。再經(jīng)過微電子工藝制作出需要的惠斯登電橋,組成全金屬型敏感元件,無任何粘貼劑和活動件,無需密封腔和充油腔,因此具有適用惡劣環(huán)境和長期穩(wěn)定性工作的特點。更多壓力傳感器相關(guān)文章請訪問滄正傳感網(wǎng)http://m.sckwy.com
深圳滄正傳感儀器有限公司(滄正傳感)是一家專門從事壓力傳感器、稱重傳感器、拉壓力傳感器、角度傳感器及變送器與顯示儀表研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的企業(yè)。
滄正傳感產(chǎn)品豐富、質(zhì)量可靠,廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動化設(shè)備、工業(yè)機器人、醫(yī)療器械等壓力檢測與控制場合。
公司秉承以“質(zhì)量為本,誠信經(jīng)營”的服務(wù)理念,為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品,貼心的服務(wù)!
企業(yè)宗旨:專業(yè)誠信,成就你我。
經(jīng)營理念:優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品,貼心服務(wù)。
公司展望:精益求精,打造標(biāo)桿。